Die Zukunft ist ein Team-Projekt

Das deutsche Silicon Valley liegt in Oberkochen. Die ZEISS Sparte Semiconductor Manufacturing Technology fertigt auf der Ostalb optische Systeme, die weltweit für die Produktion leistungsfähiger Mikrochips gebraucht werden.
Andreas Pecher, Mitglied im ZEISS Vorstand, President & Chief Executive Officer SMT
Andreas Pecher, Mitglied im ZEISS Vorstand, President & Chief Executive Officer SMT
ZEISS Beitrag

 

Oberkochen ist eine kleine Stadt. Und doch ist Oberkochen ein Zentrum der weltweiten Digitalisierung. Die Menschen, die hier bei der ZEISS Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) forschen, entwickeln und produzieren, ermöglichen Künstliche Intelligenz, Autonomes Fahren, Industrie 4.0 und 5G-Netze – ganz zu schweigen von umweltfreundlichen und intelligenten Anwendungen wie das Smart Home. Und auch in Ihrem Handy und in Ihrem Laptop stecken ZEISS Technologien: Mehr als 80 Prozent aller Mikrochips weltweit werden mit Lithographie-Optiken von ZEISS hergestellt.

ZEISS inside

Die ZEISS Halbleitertechniksparte SMT entwickelt und fertigt unter anderem EUV-Lithographie-Systeme. EUV steht dabei für Extrem Ultraviolett, eine elektromagnetische Strahlung, mit der Milliarden von Transistoren auf einem kleinen Computerchip durch Belichtung erzeugt werden können. Die dabei entstehenden Strukturen sind nur wenige Nanometer fein – genauer gesagt 5.000-mal feiner als ein menschliches Haar – und erfordern zum Beispiel den Einsatz der präzisesten Spiegel der Welt. Skaliert auf die Größe Deutschlands, würde deren Oberflächengenauigkeit maximal einen Zehntelmillimeter abweichen. Die dazugehörenden Sensoren und Aktuatoren arbeiten derart präzise, dass ein auf diese Spiegel gelenkter Laserstrahl einen Golfball auf dem Mond treffen könnte. Mit Messmaschinen, so groß wie Reisebusse, erkennen SMT-Systeme inzwischen einzelne Atomlagen auf den Spiegeloberflächen.

Winning together

Derart herausragende Leistungen kann kein Unternehmen alleine stemmen. Deshalb arbeitet die SMT mit Partnern aus anderen Unternehmen und der Wissenschaft zusammen: derzeit mit mehr als 1.200 Partnern aus 35 Ländern. Dazu zählen asiatische und amerikanische Weltkonzerne ebenso wie europäische Start-ups und deutsche Familienunternehmen.
Die Entwicklung und Produktion der weltweit einzigartigen EUV-Lithographie-Systeme ist eine Herkulesaufgabe und nur mit einer gemeinsamen Kraftanstrengung zu bewältigen: Von ZEISS stammt die Lithographie-Optik, der Laser von TRUMPF. Das schwäbische Unternehmen hat dafür den stärksten gepulsten Industrielaser der Welt entwickelt. Das EUV-Licht entsteht durch Laserbeschuss von Zinntropfen, wodurch Plasma mit einer Temperatur von 220.000 Grad Celsius gezündet wird – 40-mal heißer als die Sonnenoberfläche. Das Fraunhofer Institut hat bei der Entwicklung der hochreflektiven Beschichtungen mitgearbeitet – mehr als 100 reflektierende Beschichtungen mit einer Dicke von wenigen Nanometern sorgen für eine Verstärkung des EUV-Lichts. Zusammengebaut werden alle Elemente von dem Systemintegrator und strategischen Partner ASML, eine niederländische Firma mit Sitz in Veldhoven. 

ZEISS Spiegel der nächsten EUV-Generation High-NA
ZEISS Spiegel der nächsten EUV-Generation High-NA
Die präzisesten Spiegel der Welt von ZEISS ermöglichen die EUV-Lithographie
Die präzisesten Spiegel der Welt von ZEISS ermöglichen die EUV-Lithographie
Benjamin, Product Line Manager bei der SMT
Benjamin, Product Line Manager bei der SMT
Ella, Software-Entwicklerin bei der SMT
Ella, Software-Entwicklerin bei der SMT
Kathrin, Gruppenleiterin für Optiktechnologie bei der SMT
Kathrin, Gruppenleiterin für Optiktechnologie bei der SMT
Wolfgang, Schichtleiter Feinbearbeitung bei der SMT
Wolfgang, Schichtleiter Feinbearbeitung bei der SMT

Gemeinsam an die Weltspitze

Sowohl diese Art der Zusammenarbeit als auch die daraus entstehenden Anlagen und Produkte sind weltweit einzigartig. Sie ermöglichen weiteren Fortschritt in Europa und stärken unsere führende Position im globalen Halbleitergeschäft. Inzwischen werden auch in Europa wieder große Chipfabriken gebaut. Das jüngste Beispiel ist die geplante Chipfabrik von Intel in Magdeburg. Unterstützt wird diese Entwicklung auch von der deutschen und europäischen Politik, die den Zugang zu strategisch wichtigen Gütern für Europa sichern möchten. Die deutsche Bundesregierung fördert die EUV-Technologie beispielsweise bereits seit Ende der 1990er-Jahre.

Die Zukunft begannvor 25 Jahren

So schnelllebig der technologische Fortschritt ist, so brauchen die dafür notwendigen Innovationen oft einen langen Atem. Sie basieren auf weitsichtigen Visionen und langfristig angelegten Entscheidungen. Die Forschung rund um die heutige EUV-Lithographie begann beispielsweise bereits vor mehr als 25 Jahren. Lange Zeit war nicht sicher, ob das Verfahren tatsächlich die Serienreife erreicht. Heute zahlt sich unser Durchhaltevermögen aus: In Form einer Marktposition, mit der wir den Fortschritt aktiv gestalten können. Wir gehen diesen Weg weiter – übrigens ganz im Sinne unseres Firmengründers Carl Zeiss, der schon vor 175 Jahren große Teile seines Vermögens in die Zukunft des Unternehmens investiert hat. Diese Innovationskultur führen wir fort: Die F&E-Quote liegt bei der SMT bei gut 20 Prozent des Umsatzes; mehr als 2.000 EUV-Patente sichern unseren Vorsprung ab.

Das Herz der Zukunft: ZEISS SMT

Halbleitertechnik ist ein Gemeinschaftswerk. Sie umfasst technische und organisatorische Bereiche: angefangen bei Forschung und Entwicklung über die Mess- und Verfahrenstechnik bis hin zur Qualitätssicherung und der Logistik, dem Maschinenbau und Management. Entsprechend breit ist das SMT-Team aufgestellt: Mehr als 5.000 Kolleginnen und Kollegen arbeiten an wegweisenden Innovationen für die Halbleiterindustrie. ZEISS ist ein internationaler Jobmotor; auch und gerade während der Pandemie. Ein Trend, der anhält: Aktuell suchen wir mehr als 400 neue Mitarbeitende. Nicht nur Physikerinnen und Physiker oder Spezialisten für Software und Hardware, sondern auch Fachkräfte für die Produktion. Sie sollen unter anderem die nächste EUV-Generation zur Serienreife führen: High-NA EUV.

Open minds, open doors

Wir leben von den Ideen, der Leidenschaft und dem Engagement unserer Mitarbeitenden. Damit das so bleibt, schaffen wir die Rahmenbedingungen. Das ist bei ZEISS als Stiftungsunternehmen leichter als bei börsennotierten Unternehmen. Deshalb arbeiten wir nicht nur an Hightech, sondern auch an einer ausgeprägten Unternehmenskultur. Diese beginnt bei einem wertschätzenden Umgang miteinander, fördert die Möglichkeit hybrider Zusammenarbeit und umfasst nicht zuletzt auch die Vereinbarkeit von Privatleben und Beruf: Frischgebackene Eltern möchten vielleicht nicht so viel reisen wie ein Berufsanfänger; Mitarbeitende, die ihre Eltern pflegen, schätzen flexible Arbeitsmodelle. Bei ZEISS ist das möglich – in Verbindung mit sinnstiftenden und herausfordernden Aufgaben.

Der ZEISS Moment: Viel Stolz und noch mehr Sinn

Bei Onboarding-Veranstaltungen berichten Kolleginnen und Kollegen manchmal von ihrem persönlichen „ZEISS Moment“. Auch ich erlebe diesen besonderen Moment immer wieder. Zum Beispiel wenn ich gefragt werde, was wir bei ZEISS eigentlich machen. Dann zeige ich auf mein Smartphone und antworte: „zum Beispiel das da“. Den hochleistungsfähigen Mikrochip darin ermöglichen wir – und damit Innovationen wie Künstliche Intelligenz oder Autonomes Fahren, aber auch Trends von übermorgen, die wir heute vielleicht noch gar nicht kennen.

www.zeiss.de/arbeitenbeizeiss

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